声子捕获横向场激励悬浮体声波谐振器（XBARs）

薄膜体声波谐振器（FBARs）通过在智能手机中实现紧凑、高性能的射频滤波器，支撑着现代无线通信。传统上，这些 FBAR 器件工作于准平面声波，其声场的横向范围远大于声波波长（$\lambda_a$）。另一方面，为了在 FBAR 光机腔平台周围构建高效的微波到光量子光子换能器（MW-OT），需要强模式约束以达到必要的相互作用强度。在此，我们通过将压电层塑造成球面透镜，制造了一种小模式体积的声子捕获横向场激发 FBAR 谐振器（XBAR），展示了模式约束和品质因数（$\approx$ 4$\times$）的改进，并讨论了围绕此 XBAR 几何结构构建高效 MW-OT 所需的改进。