具有表面声阻抗的薄膜体声波谐振器用于传感器应用的标量微分方程
医学物理
2020-11-09 v1 应用物理
摘要
我们将薄膜体声波谐振器（FBARs）厚度伸缩工作模式的二维标量微分方程推广以包含表面阻抗的影响，从而使该方程可用于基于FBARs的传感器建模。以质量传感器为例进行分析，以表明所得方程的有效性。计算了质量层引起的频率偏移。还发现振动可能被限制在驱动电极或质量层下方。这些是质量传感器设计的基础。
引用
@article{arxiv.2011.03251,
title = {Scalar Differential Equations of Thin Film Bulk Acoustic Wave Resonators with Surface Acoustic Impedance for Sensor Application},
author = {Huijing He and Jiashi Yang and John A. Kosinski},
journal= {arXiv preprint arXiv:2011.03251},
year = {2020}
}
备注
14 pages, 9 figures