层状结构中体声波静电激发与检测的一维建模
仪器与探测器
2016-12-21 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
本文致力于对一种工作在厚度伸缩模式下的双端口硅谐振器进行一维分析。激发和检测端口均为电容换能器，用于控制沿层状结构厚度方向建立的纵向弹性波系统。该分析包括将纵向弹性波的电容换能集成到阻抗方法通用方案的一个特定实现中，该方法被广泛用作 RF-MEMS 建模的标准工具。
引用
@article{arxiv.1612.06641,
title = {One-dimensional Modelling of Electrostatic Generation and Detection of Bulk Acoustic Waves in layered structures},
author = {Lilia Arapan and Mihaela Ivan and Bernard Dulmet},
journal= {arXiv preprint arXiv:1612.06641},
year = {2016}
}