ScAlN-on-SiC Ku 带固态安装二维模式共振器
系统与控制
2025-02-10 v2 系统与控制
摘要
本文报道了利用 30% 掺杂铝氮化物 (ScAlN) 于硅碳化物 (SiC) 上的 Sezawa 模式优化后的固态安装二维模式共振器 (S2MR)。实验结果表明，机械品质因数 (Qm) 最高可达 380，Bode 品质因数 (QBode) 可接近 500，电机耦合系数 (kt2) 为 4.5%，整体性能指标 (FOM = Qm kt2) 超过 17，功率处理能力大于 20 dBm。据作者所知，S2MR 在 Ku 带中 exhibits 最高的关键性能指标 (KPIs)，为在高功率电子器件中集成纳米声学器件铺垫了道路，专为军事和恶劣环境应用而量身定制。
引用
@article{arxiv.2411.13751,
title = {ScAlN-on-SiC Ku-Band Solidly-Mounted Bidimensional Mode Resonators},
author = {Luca Colombo and Luca Spagnuolo and Kapil Saha and Gabriel Giribaldi and Pietro Simeoni and Matteo Rinaldi},
journal= {arXiv preprint arXiv:2411.13751},
year = {2025}
}
备注
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