硅纳米线中的高品质因子机械共振

实验研究了基于绝缘体上硅制备、并涂覆薄层铝的双端固支硅纳米线纳米机械谐振器的共振特性。利用磁动 scheme 在 $20\,\mathrm{mK}$ 温度下测量了不同尺寸纳米线基模的共振频率。测得的共振频率值与由欧拉-伯努利理论得到的估计值一致。测得的长为 $5\,\mathrm{\mu m}$ 谐振器的内部品质因子 $3.62\times10^4$ 超过了在更高温度下研究的类似谐振器的相应值。所提出的结构可用作质量传感器，预期灵敏度 $\sim 6 \times 10^{-20}\,\mathrm{g}\,\mathrm{Hz}^{-1/2}$。