超高 Q 值氮化硅纳米机械谐振器的频率与相位噪声
介观与纳米尺度物理
2012-06-08 v1
摘要
我们描述了由化学计量氮化硅制成的超高 Q 值纳米机械谐振器的振幅噪声和相位噪声的测量与建模。凭借超过 200 万的品质因数，这些谐振器的噪声性能得以高精度研究。我们发现振幅噪声可以由热机械模型很好地描述，然而，谐振器因其固有的频率涨落而表现出相当大的额外相位噪声。我们开发了一种方法来提取受驱谐振器的频率涨落，并获得具有依赖性的噪声谱，这可以归因于具有广泛分布弛豫时间的缺陷运动。
引用
@article{arxiv.1204.1942,
title = {Frequency and phase noise of ultra-high Q silicon nitride nanomechanical resonators},
author = {King Y. Fong and Wolfram H. P. Pernice and Hong X. Tang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1204.1942},
year = {2012}
}