高-Q硅氮烷膜共振器的制造与表征
介观与纳米尺度物理
2025-11-05 v1 应用物理
摘要
硅氮烷膜是一种强大且普遍的光机械共振器技术，能够实现高机械 Q 值、低光学损耗以及通过多种应变、声学和光子晶体工程技术实现增强的光机械耦合。硅氮烷膜的制造与表征已成为光机械研究小组中一种隐性知识。本文提供了制造和表征一种当代硅氮烷膜共振器（具体为一种尺寸为厘米级的 Si3N4 纳米丝带，支持 的扭转模态）的视频演示。我们的教程可作为从业者的入门或复习资料。
引用
@article{arxiv.2511.02166,
title = {Fabrication and characterization of high-Q silicon nitride membrane resonators},
author = {Atkin D. Hyatt and Oscar A. Flores and Aman R. Agrawal and Charles A. Condos and Dalziel J. Wilson},
journal= {arXiv preprint arXiv:2511.02166},
year = {2025}
}
备注
16 pages, 5 figures