品质因数超过一百万的单晶金刚石纳米机械谐振器
介观与纳米尺度物理
2014-05-15 v1
摘要
我们展示了单晶金刚石悬臂梁的纳米加工和机械测量结果，其厚度低至 85 nm，厚度均匀性优于 20 nm，横向尺寸高达 240 um。在室温下发现其品质因数超过一百万，比类似尺寸的最先进单晶硅悬臂梁高出约一个数量级。在毫开尔文温度下，最佳悬臂梁的力灵敏度达到几百 zeptonewtons。因此，单晶金刚石可以通过简单替换谐振器材料直接改进现有的力和质量传感器，并引领具有极低能量耗散的量子纳米机械器件的发展。
引用
@article{arxiv.1212.1347,
title = {Single-Crystal Diamond Nanomechanical Resonators with Quality Factors exceeding one Million},
author = {Y. Tao and J. M. Boss and B. A. Moores and C. L. Degen},
journal= {arXiv preprint arXiv:1212.1347},
year = {2014}
}