单晶金刚石中的纳米机械谐振结构
介观与纳米尺度物理
2014-08-27 v1
摘要
单晶金刚石凭借其众多卓越的材料特性，成为纳米机械系统的理想材料。本文报道了采用倾斜刻蚀工艺制备的独立式单晶金刚石纳米梁的机械谐振特性。双端固支金刚石纳米梁的谐振频率显示出显著的压应力证据，而悬臂梁谐振模式则遵循预期的长度平方反比趋势。在高真空环境下记录了量级为 104 的品质因数 (Q-factors)。此处展示的结果代表了未来基于金刚石的纳米机械系统的初步基础，这些系统可应用于经典和量子领域。
引用
@article{arxiv.1309.1834,
title = {Nanomechanical resonant structures in single-crystal diamond},
author = {Michael J. Burek and Daniel Ramos and Parth Patel and Ian W. Frank and Marko Lončar},
journal= {arXiv preprint arXiv:1309.1834},
year = {2014}
}