高 Q 值、可转移金刚石谐振器的纳米加工
光学
2021-01-19 v1 材料科学
应用物理
摘要
金刚石基光子电路的发展需要关键元件（包括金刚石谐振器与腔）的稳健制备方案。在此，我们展示了利用金属钨层作为约束、导电且可去除的硬掩模，由单晶金刚石薄膜制备的一维（纳米梁）光子晶体腔。使用钨而非更常规的氧化硅层，使制备过程具备良好的可重复性与可靠性。该工艺产出高质量金刚石腔，其品质因数（Q 因子）接近 10。最后，我们展示了可将腔拾取并转移至带沟槽的衬底上，从而实现完全悬空的金刚石腔。我们的制备工艺证明了金刚石薄膜作为更广义金刚石基量子光子电路模块化元件的能力。
引用
@article{arxiv.2101.06358,
title = {Nanofabrication of high Q, transferable, diamond resonators},
author = {Blake Regan and Aleksandra Trycz and Johannes E. Fröch and Otto Cranwell Schaeper and Sejeong Kim and Igor Aharonovich},
journal= {arXiv preprint arXiv:2101.06358},
year = {2021}
}