薄发光单晶金刚石膜的制备
材料科学
2015-05-30 v1
摘要
单晶金刚石膜的形成是制备高质量光学腔的重要前提。通过离子注入产生损伤层，再利用剥离工艺制备的金刚石膜常受残留离子损伤的影响，这严重限制了其在光子结构中的应用。当前工作表明，通过策略性蚀刻去除缺陷最严重的材料，可获得具有强光致发光且拉曼特征接近单晶块体金刚石的薄单晶金刚石膜。这些光学活性膜可作为制备高质量光学谐振腔的起点。
引用
@article{arxiv.1108.0738,
title = {Fabrication of Thin, Luminescent, Single-crystal Diamond Membranes},
author = {Andrew P. Magyar and Jonathan C. Lee and Andi M. Limarga and Igor Aharonovich and Fabian Rol and David R. Clarke and Mengbing Huang and Evelyn L. Hu},
journal= {arXiv preprint arXiv:1108.0738},
year = {2015}
}
备注
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