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薄单晶金刚石膜中电信波长的二维光子晶体腔

光学 2021-10-27 v2 应用物理

摘要

我们展示了在单晶金刚石膜中工作的电信波长二维光子晶体腔。我们使用由多晶金刚石框架支撑的高光学质量薄(约300 nm)金刚石膜,实现了完全悬空的二维光子晶体腔,其理论品质因数高达约8×1068\times10^6,模式体积相对较小,约为2(λ/n)3({\lambda}/n)^3。这些腔体通过电子束光刻和垂直干法刻蚀在膜中制备。我们观察到覆盖电信O波段和S波段(1360 nm–1470 nm)宽波长范围的腔共振,品质因数最高约1800。我们的方法为电信波长范围内的片上金刚石纳米光子应用提供了新方向。

关键词

引用

@article{arxiv.2106.15724,
  title  = {Telecommunication-wavelength two-dimensional photonic crystal cavities in a thin single-crystal diamond membrane},
  author = {Kazuhiro Kuruma and Afaq Habib Piracha and Dylan Renaud and Cleaven Chia and Neil Sinclair and Athavan Nadarajah and Alastair Stacey and Steven Prawer and Marko Lončar},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2106.15724},
  year   = {2021}
}