利用单晶硅硬掩模在块体金刚石中制备三角形纳米梁波导网络
光学
2015-06-23 v1
摘要
本文提出了一种利用块体样品三角形刻蚀技术在单晶金刚石中构建集成光子网络的可扩展方法。我们描述了高品质因子（Q=2.51x10^6）和低模式体积（Vm=1.062x({\lambda}/n)^3）的光子晶体腔的设计，这些腔体通过由悬浮结构支撑的波导连接，预测传输损耗仅为 0.05 dB。我们展示了利用转移单晶硅硬掩模和角度干法刻蚀工艺制备这些结构的过程，所得可见光波段光子晶体腔的实测品质因子超过 Q=3x103。
引用
@article{arxiv.1411.3639,
title = {Fabrication of Triangular Nanobeam Waveguide Networks in Bulk diamond Using Single-Crystal Silicon Hard Masks},
author = {I. Bayn and S. Mouradian and L. Li and J. A. Goldstein and T. Schröder and J. Zhang and E. H. Chen and O. Gaathon and M. Lu and A. Stein and C. A. Ruggiero and J. Salzman and R. Kalish and D. Englund},
journal= {arXiv preprint arXiv:1411.3639},
year = {2015}
}
备注
This article will be published in Applied Physics Letters