通过刻蚀优化在金刚石微盘中实现用于光力学的 $Q$ > 300,000
应用物理
2019-02-14 v2 介观与纳米尺度物理
光学
摘要
单晶金刚石（SCD）中同时限制并共定域光子和声子的纳米光子结构，在量子信息科学和光力学应用中极受青睐。在此我们描述了一种用于刻蚀面向光力学应用的 SCD 微盘结构的优化工艺。该工艺使这些器件的光学品质因子 较以往演示提升 4 倍，达到 ，足以实现边带分辨的相干腔光力学实验。通过对光学损耗和背散射率的分析，我们发现 仍受表面缺陷限制。我们还描述了一种改变微盘支柱几何结构的技术，可望降低机械耗散。
引用
@article{arxiv.1808.09883,
title = {Realizing $Q$ > 300,000 in diamond microdisks for optomechanics via etch optimization},
author = {Matthew Mitchell and David P. Lake and Paul E. Barclay},
journal= {arXiv preprint arXiv:1808.09883},
year = {2019}
}
备注
Published version