由抛光纳米晶金刚石薄膜制成的高 Q 值光机械电路
光学
2014-03-25 v1
摘要
我们展示了由纳米晶金刚石薄膜制备的具有高机械品质因数的集成光机械电路。利用化学机械抛光，将生长态多晶金刚石薄膜的 RMS 表面粗糙度降低至 3nm 以下，从而能够制造高质量的纳米光子电路。通过将自由站立纳米机械谐振器集成到集成光学器件中，利用片上 Mach-Zehnder 干涉仪实现了对金刚石谐振器热机械运动的高效读出。对于耦合到纳米光子波导倏逝近场的四端固定光机械谐振器，测得的机械品质因数高达 28,800。我们的平台为光机械电路的大规模集成以用于片上计量和传感应用带来了希望。
引用
@article{arxiv.1403.5663,
title = {High-Q optomechanical circuits made from polished nanocrystalline diamond thin films},
author = {S. Ummethala and P. Rath and G. Lewes-Malandrakis and D. Brink and C. Nebel and W. H. P. Pernice},
journal= {arXiv preprint arXiv:1403.5663},
year = {2014}
}