芯片上超低耗散光机械谐振器的演示

腔增强的光自由度与机械自由度的辐射压力耦合引发了一系列光机械现象，特别是为介观机械振荡器进入量子机制提供了一条途径。然而，腔光机械学的一个主要挑战是实现能够同时最大化光学精细度和机械品质的系统。在此，我们首次演示了在同一个片上谐振器内对机械和光学自由度的独立控制。对微机械系统中机械简正模耦合的首次直接观测使得能够对机械耗散进行定量理解。随后对谐振器几何结构的优化实现了受限于本征材料损耗的机械 Q 因子，可与高 MHz 频率范围内报道的最佳值相媲美，同时保持了谐振器的超高光学精细度。除了表明对基于微谐振器的光机械系统中的机械耗散有了完整的理解外，我们的结果还为腔光机械学提供了理想的环境。