单晶金刚石中三维微结构的表征
材料科学
2016-09-02 v1
摘要
我们报告了利用聚焦离子束 (FIB) 辅助剥离技术在单晶金刚石中创建的三维微结构的拉曼光谱和光致发光表征。该方法基于 MeV 离子注入以形成埋藏可蚀刻层，随后进行 FIB 图案化和选择性蚀刻。在那些高度依赖高质量单晶金刚石特性的此类微结构应用中，制造过程后的残留损伤是一个关键的技术问题。拉曼光谱和光致发光表征结果表明，经过热退火处理后，sp3 键合晶格的部分畸变和孤立点缺陷的形成被有效消除，最终结构中仅留下少量残留损伤。单晶金刚石中的三维微结构提供了广泛的应用范围，例如量子光学器件和完全集成的光机械组件。
引用
@article{arxiv.1609.00289,
title = {Characterization of Three-Dimensional Microstructures in Single Crystal Diamond},
author = {P. Olivero and S. Rubanov and P. Reichart and B. C. Gibson and S. T. Huntington and J. R. Rabeau and A. D. Greentree and J. Salzman and D. Moore and D. N. Jamieson and S. Prawer},
journal= {arXiv preprint arXiv:1609.00289},
year = {2016}
}
备注
30 pages, 7 figures