局部石墨化金刚石的力学变形解析模型
材料科学
2015-02-12 v1
摘要
我们提出了解析模型，用于描述单晶金刚石在经激光束或MeV离子微束注入实现局部亚表面石墨化后的力学变形。在此情况下，辐照微米区域内的特定深度处会产生局部质量密度变化，进而导致膨胀效应和相应机械应力的发展。我们的模型描述了局部受损材料的受限膨胀，并通过将解析结果与实验轮廓测量数据和有限元模拟进行比较，正确预测了表面变形。该模型可用于轻松评估局部石墨化金刚石中的应力和应变场，以设计使用聚焦离子束/激光束的微加工工艺，例如预测裂纹的潜在形成，或评估应力对光机械器件性能的影响。
引用
@article{arxiv.1502.03327,
title = {An analytical model for the mechanical deformation of locally graphitized diamond},
author = {Marco Piccardo and Federico Bosia and Paolo Olivero and Nicola Pugno},
journal= {arXiv preprint arXiv:1502.03327},
year = {2015}
}
备注
29 pages, 7 figures