高品质因子单晶金刚石机械谐振器
介观与纳米尺度物理
2015-06-05 v1 材料科学
摘要
单晶金刚石因其低机械损耗、与极端环境的兼容性以及与高品质自旋中心的内置接口，成为MEMS器件的极具前景的材料。但其应用在很大程度上受限于加工和生长方面的挑战。我们展示了一种基于晶圆键合的技术来制备绝缘体上金刚石，并由此制造出在室温下机械品质因子高达338,000的单晶金刚石微机械谐振器。低至10 K的变温测量揭示了品质因子对温度的非单调依赖关系。这些谐振器使得单晶金刚石能够集成到MEMS技术中，用于经典和量子应用。
引用
@article{arxiv.1206.4363,
title = {High quality factor single-crystal diamond mechanical resonators},
author = {P. Ovartchaiyapong and L. M. A. Pascal and B. A. Myers and P. Lauria and A. C. Bleszynski Jayich},
journal= {arXiv preprint arXiv:1206.4363},
year = {2015}
}
备注
15 pages total, 4 figures, 1 table