毫开尔文温度下纳米机械振荡器中的量子摩擦

我们报告了兆赫兹范围、悬浮、单晶纳米机械振荡器中耗散的低温度测量。在毫开尔文温度下，耗散（品质因数倒数）和共振频率的移动都表现出可重现的特征，类似于在无序玻璃中的声衰减实验中观察到的现象，并与由单晶硅制成的较大微机械振荡器的测量结果一致。我们单晶纳米机械结构中的耗散主要由内部量子摩擦主导，这归因于估计约 50 个二能级系统，它们既代表表面悬挂键，也代表体缺陷。