集成高频氮化铝光机械谐振器
介观与纳米尺度物理
2012-06-11 v2 光学
摘要
氮化铝(AlN)因其优异的机电特性而被广泛用于微机电谐振器。本文展示将AlN用作同时具有低光学损耗和低机械损耗的光机械材料。呈悬浮环状的集成AlN微环谐振器展现出高光学品质因子(Q)，加载Q值高达125,000。对GHz轮廓模布朗运动的光机械换能，在环境空气中实现了6.2×10^(-18) m/Hz^(1/2)的位移灵敏度。
引用
@article{arxiv.1204.4203,
title = {Integrated high frequency aluminum nitride optomechanical resonators},
author = {Chi Xiong and Xiankai Sun and King Y. Fong and Hong X. Tang},
journal= {arXiv preprint arXiv:1204.4203},
year = {2012}
}