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腔压光力学:压电激发、光学转导的光机谐振器

介观与纳米尺度物理 2014-01-21 v1 光学

摘要

我们展示了一种单片集成的氮化铝(AlN)光机谐振器,其中机械运动由压电力驱动,位移由高 Q 值光学腔转导。该 AlN 光机谐振器通过一个小气隙从射频电极激发,以消除谐振器至电极的损耗。我们观测到了分别在 47.3 MHz、1.04 GHz 和 3.12 GHz 频率下的电激发机械运动,对应于轮式谐振器的第 1、第 2 和第 4 径向轮廓模式。我们开发了一个等效电路模型来描述观测到的类 Fano 共振谱。

关键词

引用

@article{arxiv.1301.6333,
  title  = {Cavity piezooptomechanics: piezoelectrically excited, optically transduced optomechanical resonators},
  author = {Chi Xiong and Linran Fan and Xiankai Sun and Hong X. Tang},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1301.6333},
  year   = {2014}
}