PORT：一种压电光学谐振调谐器
应用物理
2019-03-21 v1 光学
摘要
本摘要介绍了一种用于调谐氮化硅光子谐振腔光学谐振模式的氮化铝（AlN）压电驱动器。该 AlN 驱动器制作于包裹氮化硅谐振腔与波导的厚二氧化硅包层之上。PORT 通过横向硅刻蚀对包层进行欠刻蚀来定义。其在向顶电极施加 60 V 电压、电流消耗为 0.5 nA 时，可将光学波长调谐 20 pm。厚氧化物包层在整个调谐范围内保持了谐振腔 64,000 的负载品质因数 Q optical。第一弯曲模态位于 1.1 MHz，可实现 <1 μs 的调谐速度。
引用
@article{arxiv.1903.08479,
title = {PORT: A piezoelectric optical resonance tuner},
author = {Bin Dong and Hao Tian and Michael Zervas and Tobias J. Kippenberg and Sunil A. Bhave},
journal= {arXiv preprint arXiv:1903.08479},
year = {2019}
}
备注
4 pages, 2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)