基于压电致动的可视到近红外高速空间光调制器
光学
2024-10-28 v1 应用物理
摘要
光调制技术的进步正在推动多个领域的发现与进步。大规模原子量子系统（包括冷原子、离子和固态色心）的相干光控 presents 最严苛的要求。这催生了一代新型高速大规模调制技术，需满足以下要求：（R1）在可选可视（VIS）至近红外（NIR）光谱中工作；（R2）可扩展技术，具有高通道密度（>100mm⁻²）；（R3）高调制速度（>100MHz）；（R4）高消除比（>20 dB）。为满足这些要求，我们引入一种基于压电致动的硅氮共振波导光栅调制技术，制造于200mm直径硅片上，兼容CMOS工艺。我们展示了一个概念装置，包含4×4个可单独寻址的50μm×50μm像素/通道，每个像素包含一个约780nm设计波长的共振波导光栅，支持>100MHz调制速度，具有>20 dB消除比的光谱响应。
引用
@article{arxiv.2410.19058,
title = {Piezoelectrically actuated high-speed spatial light modulator for visible to near-infrared wavelengths},
author = {Tom Vanackere and Artur Hermans and Ian Christen and Christopher Panuski and Mark Dong and Matthew Zimmermann and Hamza Raniwala and Andrew J. Leenheer and Matt Eichenfield and Gerald Gilbert and Dirk Englund},
journal= {arXiv preprint arXiv:2410.19058},
year = {2024}
}
备注
9 pages + 2 pages supplementary