毫米波下压电器件的声学与电磁联合建模
应用物理
2024-08-06 v2
摘要
本文报告了在毫米波（mmWave）下对压电声学谐振器和滤波器进行建模的流程。与针对较低频率压电器件的传统方法不同，我们在电路级拟合和有限元分析中同时包含了声学和电磁（EM）效应（例如自感），以提高高频下的精度。为了验证该方法，采用薄膜铌酸锂（LiNbO3）一阶反对称（A1）模式器件作为测试平台，在独立谐振器和五阶梯形滤波器上都取得了良好的一致性。经过进一步开发，所报道的声学与电磁联合建模可指导未来毫米波及以上频段紧凑型压电器件的设计。
引用
@article{arxiv.2405.19591,
title = {Acoustic and Electromagnetic Co-Modeling of Piezoelectric Devices at Millimeter Wave},
author = {Tianyi Zhang and Yen-Wei Chang and Omar Barrera and Naveed Ahmed and Jack Kramer and Ruochen Lu},
journal= {arXiv preprint arXiv:2405.19591},
year = {2024}
}
备注
6 pages, 11 figures, submitted to IEEE JMEMS