包含电源管理电路的压电微发电机的设计、制造与表征
其他计算机科学
2008-02-22 v1
摘要
本文报道了一种压电 MEMS 微发电机的设计、制造及实验表征。该器件能够收集频率在 1 kHz 范围内的环境机械振动能量。该元件采用与 CMOS 兼容的工艺沉积氮化铝（Aluminum Nitride）薄膜制成。此外，我们分析了两种可能的信号整流方案：分立倍压整流器和全定制电源管理电路。为此应用开发的专用集成电路（ASIC）利用了具有极低阈值电压的二极管，因此能够转换对应于极微弱输入加速度的极低输入电压。所提出发电机的体积小于 1mm³，产生的功率在 1W 量级。该系统旨在为自主无线传感器节点供电。
引用
@article{arxiv.0802.3044,
title = {Design, Fabrication and Characterization of a Piezoelectric Microgenerator Including a Power Management Circuit},
author = {M. Marzencki and Y. Ammar and S. Basrour},
journal= {arXiv preprint arXiv:0802.3044},
year = {2008}
}
备注
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