紧凑型高动力学电感 WSi 多模谐振器的线性与非线性性质

超导器件的动力学电感(KI)可用于减小线性元件的占位面积,并为电路引入非线性。我们表征了由非晶钨硅(WSi)制备、基频为 $f_1 = 172$ MHz 的多模谐振器的线性与非线性性质。我们展示了如何利用该器件的多模结构提取不同品质因数并辅助非线性表征。在线性区,采用标准横向尺寸使占位面积减小约 $\sim 2.9$ 倍,且与类似 Al 器件相比内部品质因数无显著退化。在非线性区,我们观察到低功率下的自正频移,这可归因于隧穿两能级系统的饱和。交叉模非线性由 Kerr 模型很好地描述,其自 Kerr 系数量级为 $|K_{11}|/2\pi \approx 1.5\times10^{-7}$ Hz/photon。这些性质连同可复现的制备工艺,使 WSi 成为制造线性与非线性电路 QED 元件的有前途候选者。