超导CoSi$_2$共面微波传输线中的动电感

我们研究了二硅化钴(CoSi$_2$)作为超导量子电路潜在构建模块的可能性。为此，我们退火了一层薄Co，以在硅衬底中形成10-105 nm厚的CoSi$_2$微波腔。测量了腔体特性随温度和功率的变化。在10 nm和25 nm厚的薄膜中，我们发现了显著的动电感$L_\mathrm{K}$，在低温下呈现非BCS幂律变化$\delta L_\mathrm{K} \propto T^{4.3 \pm 0.2}$。所研究微波谐振的品质因数随厚度几乎线性增加，双能级系统的影响非常小。动电感的功率依赖性根据电子-声子耦合引起的热流进行了分析，发现该耦合比常规准粒子热弛豫估计的更强。