用于超导高动能电感电路的氧化铝线

我们研究了导电氧化铝薄膜（也称为颗粒铝）作为超导高质量、高动能电感电路材料的特性。这些薄膜通过优化的反应直流磁控溅射工艺沉积，并使用微波测量技术在毫开尔文温度下进行表征。我们表明，通过精确控制反应溅射条件，可以获得高的室温方块电阻，从而在低温下获得高的动能电感。对于具有 $1.5\,\mathrm{k}\Omega$ 方块电阻且动能电感分数接近 1 的共面波导谐振器，我们在 $20\,\mathrm{mK}$ 下测得的品质因数约为 $700\,000$。此外，我们观察到在空气中进行温和热处理会导致方块电阻降低。利用这一行为，我们通过共面波导谐振器的微波响应研究了动能电感的变化。我们发现动能电感与方块电阻之间的关联与理论预期吻合良好。