原子层沉积 TiN 超导薄膜的微波特性

我们通过原子层沉积法生长了厚度在 6 至 89 nm 范围内的超导 TiN 薄膜。该沉积方法使我们能够通过控制薄膜厚度来调节电阻率和临界温度。利用共面波导谐振器测量了微波特性，发现内部品质因子超过一百万，具有高面电感（5.2-620 pH），脉冲响应时间长达 100 $\mu$ s。薄膜的高正常态电阻率（> 100 $\mu\Omega$ cm）影响了超导态，从而影响了电动力学响应。我们使用经有效对破坏子修正的准粒子态密度对微波响应进行建模，一致地描述了品质因子和谐振频率随温度的变化关系。