用于动能电感探测器的近邻耦合 Ti/TiN 多层膜
超导电性
2015-06-11 v1
摘要
我们利用 TiN/Ti 多层薄膜中的超导近邻效应，将临界温度 调节至 10 mK 以内，并在 75 mm 晶圆上具有高度均匀性（散布小于 15 mK）。获得了从 0.8 K 到 2.5 K 的可重复 值。这些薄膜具有高电阻率（> 100 uOhm-cm），且 GHz 频段谐振器的内部品质因数达到 100k 及以上。我们制备了 TiN/Ti/TiN 三层层状结构和更厚的超晶格薄膜，证明了对宽厚度范围薄膜的高度可控工艺。制造的探测器在 1550 nm 处显示出单光子分辨率。TiN 的高均匀性和可控性，结合其高品质因数、动能电感和化学惰性，使得这些薄膜成为频率复用动能电感探测器的理想选择，并适用于纳米线探测器、转变边缘传感器及相关量子信息应用等其他潜在应用。
关键词
引用
@article{arxiv.1209.4853,
title = {Proximity-Coupled Ti/TiN Multilayers for use in Kinetic Inductance Detectors},
author = {Michael R. Vissers and Jiansong Gao and Martin Sandberg and Shannon M. Duff and David S. Wisbey and Kent D. Irwin and David P. Pappas},
journal= {arXiv preprint arXiv:1209.4853},
year = {2015}
}