用于量子电路的氮化钛原子层沉积
介观与纳米尺度物理
2018-12-05 v2 应用物理
量子物理
摘要
具有高本征动力学电感的超导薄膜对于光子探测器、在混合系统中实现强耦合以及受保护量子比特具有重要意义。我们报道了由原子层沉积生长的氮化钛谐振器的性能，其图案化于薄层（9–110 nm）上，面电感高达 234 pH/square。对于厚度大于 14 nm 的薄膜，在量子 regime 下测得的质量因数介于 0.4 至 1.0 百万之间，且可能受介电双能级系统限制。此外，我们展示了高达 28 kOhm 的特征阻抗，且随阻抗增大内部质量因数无显著退化。这些高阻抗对应于相较 50 Ohm 谐振器单光子耦合强度提高 24 倍，对混合量子系统与量子传感具有变革性意义。
引用
@article{arxiv.1808.06009,
title = {Atomic layer deposition of titanium nitride for quantum circuits},
author = {A. Shearrow and G. Koolstra and S. J. Whiteley and N. Earnest and P. S. Barry and F. J. Heremans and D. D. Awschalom and E. Shirokoff and D. I. Schuster},
journal= {arXiv preprint arXiv:1808.06009},
year = {2018}
}
备注
10 pages, 8 figures including supplemental materials