用于超灵敏微谐振器探测器的氮化钛薄膜
超导电性
2015-05-18 v2 仪器与探测器
摘要
氮化钛(TiNx)薄膜非常适合用于超导微谐振器探测器，因为：a) 临界温度随组分变化(0 < Tc < 5 K)；b) 正常态电阻率大，\rho_n ~ 100 Ohm cm，有助于高效的光子吸收并提供大的动态电感和探测器响应率；c) TiN薄膜非常坚硬且具有机械鲁棒性。使用反应溅射TiN薄膜的谐振器表现出极低的损耗(Q_i > 10^7)，并具有与其他材料制成的谐振器相似的噪声特性，同时准粒子寿命相当长，为10-200 s。因此，TiN微谐振器的灵敏度应远低于10^-19 WHz^(-1/2)。
引用
@article{arxiv.1003.5584,
title = {Titanium Nitride Films for Ultrasensitive Microresonator Detectors},
author = {Henry G. Leduc and Bruce Bumble and Peter K. Day and Anthony D. Turner and Byeong Ho Eom and Sunil Golwala and David C. Moore and Omid Noroozian and Jonas Zmuidzinas and Jiansong Gao and Benjamin A. Mazin and Sean McHugh and Andrew Merrill},
journal= {arXiv preprint arXiv:1003.5584},
year = {2015}
}
备注
to be published in APL