用于改进微波动力学电感探测器阵列的均匀非化学计量氮化钛薄膜
仪器与探测器
2016-02-17 v2
摘要
我们描述了用于微波动力学电感探测器（mKID）阵列的均匀亚化学计量氮化钛薄膜的制备。使用 6 英寸溅射靶和均匀氮气入口，2 英寸晶圆上的临界温度变异减小至 <25%。来自这些薄膜的 132 像素 mKID 阵列的测量揭示了在 100 GHz 波段 16 kHz/pW 的灵敏度，可与最佳铝 mKID 相媲美。我们测得噪声等效功率 NEP = 3.6e-15 W/Hz^(1/2)。最后，我们描述了进一步提升这些 TiN mKID 阵列性能的可能途径。
引用
@article{arxiv.1510.01876,
title = {Uniform non-stoichiometric titanium nitride thin films for improved kinetic inductance detector array},
author = {G. Coiffard and K-F. Schuster and E. F. C. Driessen and S. Pignard and M. Calvo and A. Catalano and J. Goupy and A. Monfardini},
journal= {arXiv preprint arXiv:1510.01876},
year = {2016}
}
备注
7 pages, 4 figures, submitted to Journal of low temperature physics, Proceedings of LTD-16