紫外、光学及近红外微波动能电感探测器材料的发展

P. Szypryt; B. A. Mazin; B. Bumble; H. G. Leduc; L. Baker

doi:10.1109/TASC.2014.2377598

紫外、光学及近红外微波动能电感探测器材料的发展

仪器与探测器 2017-11-23 v1 超导电性

作者: P. Szypryt , B. A. Mazin , B. Bumble , H. G. Leduc , L. Baker

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摘要

我们已制造出用于紫外/光学/近红外 (UVOIR) 波段的 2024 像素微波动能电感探测器 (MKID) 阵列，目前正用于天文仪器中。为了使 MKID 适用于新型仪器，需要制造具有近乎完美成品率的更大型阵列。然而，随着阵列尺寸的增加，由于读出中的频率碰撞，成品率百分比往往会下降。还必须提高单像素性能，即能量分辨率。我们正在研究通过新的超导材料系统和制造技术来减少频率碰撞并提高器件的单像素性能的方法。目前我们主要探索两条途径。首先，我们尝试使用原子层沉积法而非更传统的溅射法来制造更均匀的氮化钛薄膜。此外，我们正在试验用于 MKID 的全新材料系统，如硅化铂。

关键词

微波动能电感探测器 MKID 超导材料氮化钛硅化铂原子层沉积频率碰撞能量分辨率

引用

@article{arxiv.1412.0724,
  title  = {Ultraviolet, Optical, and Near-IR Microwave Kinetic Inductance Detector Materials Developments},
  author = {P. Szypryt and B. A. Mazin and B. Bumble and H. G. Leduc and L. Baker},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1412.0724},
  year   = {2017}
}

备注

4 pages, 2 figures, accepted for publication in IEEE Transactions on Applied Superconductivity

紫外、光学及近红外微波动能电感探测器材料的发展

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