用于X射线成像光谱的高复用热动能电感探测器

对于X射线成像光谱，大视场高空间分辨率常与高能分辨率同样重要，但当前X射线探测器不能在同一设备提供两者。热动能电感探测器（Thermal Kinetic Inductance Detectors, TKIDs）正被开发，因其提供将跃迁边传感器的能量分辨率与接近CCD的像素数结合的可行方式，从而承诺对许多X射线光谱应用显著改进。TKIDs是微波动能电感探测器（Microwave Kinetic Inductance Detectors, MKIDs）的变体，并共享其多路复用性：近期已演示2024像素工作的MKID阵列，更大阵列在开发中。本工作呈现我们首个工作的TKID原型，能在5.9 keV达到75 eV能量分辨率，尽管其总体设计尚待优化。我们进一步描述TKID制造、表征、多路复用和工作原理，并证明为提取光子能量需数据拟合算法。通过进一步设计优化，期望将TKID能量分辨率提高到5.9 keV处小于10 eV。