适用于X射线光谱学的热动力学电感探测器的研制
仪器与探测器
2018-08-07 v1
摘要
我们报道了适用于进行X射线光谱学测量的热动力学电感探测器(TKIDs)的研制进展。其目标是实现以热准平衡模式工作的MKIDs传感器,作为纯量热计探测X射线光子。热模式是MKID经典工作方式的一种变体,近年来引起了关注。TKIDs可提供MKIDs在频域固有的复用能力、可与CCD相媲美的高空间分辨率,以及理论上仅受限于热弱链上热力学涨落的能量分辨率。微谐振器采用Ti/TiN多层工艺制造,其电感部分与悬浮SiN膜上的金属吸收体热耦合,以避免声子从薄膜逃逸至衬底。中期目标是针对超导临界温度、内部品质因数、动力学电感和谱能量分辨率优化单像素设计。最终目标是实现用于下一代千像素X射线光谱仪的演示阵列。本文报道了该计划经过一年开发后的进展状态,并详细介绍了微谐振器设计与仿真以及制备工艺。
引用
@article{arxiv.1710.10972,
title = {Development of Thermal Kinetic Inductance Detectors suitable for X-ray spectroscopy},
author = {A. Giachero and A. Cruciani and A. D'Addabbo and P. K. Day and S. Di Domizio and M. Faverzani and E. Ferri and B. Margesin and M. Martinez and R. Mezzena and L. Minutolo and A. Nucciotti and A. Puiu and M. Vignati},
journal= {arXiv preprint arXiv:1710.10972},
year = {2018}
}