用于开发微波动力学电感探测器的高均匀性 TiN/Ti/TiN 多层膜
天体物理仪器与方法
2023-01-20 v2 仪器与探测器
摘要
微波动力学电感探测器(MKIDs)是一类同时具有能量分辨率、时间分辨率和空间分辨率的超导低温探测器。MKID 阵列的像素良率是表征 MKID 阵列时的一个关键性能指标。目前,对于用于探测光学和近红外光子的 MKID,只有最好的阵列像素良率高达 75-80%。用于制造 MKID 阵列的超导薄膜的均匀性通常被认为是限制阵列像素良率的主要因素。在本文中,我们将展示在 Tyndall 国家研究所沉积的 TiN/Ti/TiN 多层膜的均匀性数据,并将这些结果与评估不均匀性如何影响阵列像素良率的统计模型进行比较。
引用
@article{arxiv.2301.07579,
title = {High-uniformity TiN/Ti/TiN multilayers for the development of Microwave Kinetic Inductance Detector},
author = {Mario De Lucia and E. Baldwin and G. Ulbricht and J. D. Piercy and O. Creaner and C. Bracken and T. P. Ray},
journal= {arXiv preprint arXiv:2301.07579},
year = {2023}
}
备注
11 pages, 7 figures. Proceedings Volume 12191, X-Ray, Optical, and Infrared Detectors for Astronomy X; 1219105 (2022) [REPLACEMENT is to correct typo in arxiv metadata]