用于微波动力学电感探测器的超导材料

构成 MKID 的超导材料对其性能有显著影响。薄膜的 $T_\textrm{c}$ 与正常态电阻率 $\rho_\textrm{N}$ 决定了穿透深度 $\lambda$，从而决定其具有多少动力学电感。动力学电感与总电感之比（$\alpha$）、电感体积以及 $Q_\textrm{m}$ 决定了其对入射能量的响应幅度。准粒子寿命 $\tau_\textrm{qp}$ 是 MKID 表面阻抗被入射能量改变的的特征时间。许多材料已被探索用于超导谐振器与 MKID，但这些信息常未发表或散见于文献。本章包含过去二十年中 MKID 薄膜光刻电路相关工作的信息与参考文献。需注意，测得材料性质如内损耗品质因子 $Q_\textrm{i}$ 与准粒子寿命 $\tau_\textrm{qp}$ 随 MKID 超导薄膜制备方式及测量系统而有显著差别，故最好将所有给出值视为典型而非确定。当测量不足或文献分歧过大而无法估计典型值时省略数值。为尽可能完整，纳入了作者实验室部分未发表结果，可由缺参考文献识别。除非注明，所有薄膜均为多晶或非晶。