用于超导谐振器的低损耗氢化非晶硅薄膜表征
天体物理仪器与方法
2023-02-03 v1 材料科学
超导电性
摘要
用于毫米-亚毫米天文学的超导谐振器将极大受益于具有小介电损耗的沉积介电层。我们使用等离子体增强化学气相沉积在100\deg C、250\deg C 和 350\deg C 的衬底温度下沉积了氢化非晶硅薄膜。测得的空隙体积分数、氢含量、微结构参数和键角无序度均与衬底温度呈负相关。所有三种薄膜在 120 mK 与 4-7 GHz 下、谐振器能量为 个光子时，损耗角正切均低于 。这使得这些薄膜有望用于微波动力学电感探测器与片上毫米-亚毫米滤波器。
引用
@article{arxiv.2012.07692,
title = {Characterization of low-loss hydrogenated amorphous silicon films for superconducting resonators},
author = {Bruno T. Buijtendorp and Juan Bueno and David J. Thoen and Vignesh Murugesan and Paolo M. Sberna and Jochem J. A. Baselmans and Sten Vollebregt and Akira Endo},
journal= {arXiv preprint arXiv:2012.07692},
year = {2023}
}
备注
Presented at the SPIE Astronomical Telescopes + Instrumentation 2020. Full published paper, poster and video available at https://doi.org/10.1117/12.2562233