用于超导探测器高频组件的低损耗硅基介质
天体物理仪器与方法
2023-08-09 v1 仪器与探测器
摘要
硅基介质对许多超导器件至关重要，包括高频传输线、滤波器和谐振器。非晶介质中以及介质与金属层界面处的缺陷和污染物会引起微波损耗并降低器件性能。优化介质制备、器件结构和表面形貌有助于缓解此问题。我们展示了氧化硅和氮化硅薄膜介质的制备。随后使用扫描电子显微镜、原子力显微镜和分光光度技术对其进行了表征。样品采用多种沉积方法合成，包括等离子体增强化学气相沉积和磁控溅射。通过调整沉积压力和气体流量改变了薄膜的形貌和结构。所得薄膜被用于由平面电感和电容组成的超导谐振系统。对谐振器特性（包括其品质因数）进行了测量。
引用
@article{arxiv.2304.01362,
title = {Low-loss Si-based Dielectrics for High Frequency Components of Superconducting Detectors},
author = {M. Lisovenko and Z. Pan and P. S. Barry and T. Cecil and C. L. Chang and R. Gualtieri and J. Li and V. Novosad and G. Wang and V. Yefremenko},
journal= {arXiv preprint arXiv:2304.01362},
year = {2023}
}
备注
4 pages, 5 figures, conference