用于薄介质层测量的微加工传感器
综合物理
2009-11-13 v2 原子物理
摘要
本文描述了一种用于测量薄介质层的传感器,可在多种环境下工作。该传感器通过微加工一个具有交错铝指的电容器制成,并暴露于待测介质之中。该器件尤其能够测量由液态或气态介质凝固而成的薄固体层。在许多构型下可实现对单原子层的灵敏度;通过在反馈系统中利用快速、高灵敏度的电容读出对环境参数进行调控,可动态维持数层厚度的覆盖层。本文讨论了以不同方式优化的若干版本器件的设计、读出与标定。我们特别详细讨论了在低温条件下从液氙浴中生长并稳定原子级薄固体氙层的情形。
引用
@article{arxiv.0706.0540,
title = {A microfabricated sensor for thin dielectric layers},
author = {P. Fierlinger and R. DeVoe and B. Flatt and G. Gratta and M. Green and S. Kolkowitz and F. Leport and M. Montero Diez and R. Neilson and K. O'Sullivan and A. Pocar and J. Wodin},
journal= {arXiv preprint arXiv:0706.0540},
year = {2009}
}