低温下 MEMS 的金属涂层：应力、弹性与非线性耗散
介观与纳米尺度物理
2013-12-17 v1
摘要
我们展示了在低温下对涂覆金属层的悬臂梁微机电结构 (MEMS) 进行的力学测量。为了说明本方法的能力，给出了两种截然不同的涂层，即（软）铝和（硬）氧化铌。温度被用作获取材料性质的控制参数。我们利用低温技术在低温真空中获取了第一力学共振模式的相位分辨测量。通过对同一样品在多次金属沉积后重复实验，我们可以精确确定涂层在表面应力、附加质量、附加弹性和阻尼方面对力学性质的贡献。推导了解析理论表达式并用于拟合数据。利用该技术提供的极宽动态范围，我们能够测量薄金属膜的滞弹性。以一种新颖的方式分析了描述金属动力学的关键参数，旨在为未来对潜在机制的理论建模提供新的实验基础。
引用
@article{arxiv.1312.4501,
title = {Metallic coatings of MEMS at low temperatures: stress, elasticity and non-linear dissipation},
author = {Eddy Collin and Johannes Kofler and Sabine Lakhloufi and Sebastien Pairis and Yuriy M. Bunkov and Henri Godfrin},
journal= {arXiv preprint arXiv:1312.4501},
year = {2013}
}