聚合物基底上微加工金属试样的微拉伸测试：弹性、塑性与断裂
其他计算机科学
2008-12-18 v1
摘要
本研究聚焦于微电子和微机电系统（MEMS）器件中所用材料的力学表征。为了确定其力学参数，开发了一种带有合适微加工试样的新型变形台测试方法。对“低成本”试样进行了单轴拉伸测试，这些试样由沉积在聚酰亚胺型基底上的电镀薄铜膜和结构组成。此外，还在同一变形台上测试了通过压电致动器进行的循环机械致动。这些实验验证了该器件用于材料动态表征和不同微结构可靠性研究的能力。
引用
@article{arxiv.0805.0942,
title = {Micro-tensile tests on micromachined metal on polymer specimens: elasticity, plasticity and rupture},
author = {C. Seguineau and M. Ignat and C. Malhaire and S. Brida and X. Lafontan and J. -M. Desmarres and C. Josserond and L. Debove},
journal= {arXiv preprint arXiv:0805.0942},
year = {2008}
}
备注
Submitted on behalf of EDA Publishing Association (http://irevues.inist.fr/handle/2042/16838)