利用微机电系统在悬浮石墨烯中工程化可调应变场
介观与纳米尺度物理
2021-03-26 v1
摘要
在此，我们提出一种微机电系统（MEMS）用于研究石墨烯及潜在相关二维材料中的机电耦合。我们技术的关键创新包括：（1）将石墨烯集成到硅-MEMS 技术中；（2）对石墨烯膜内诱导应变场与掺杂水平的完全控制并通过空间分辨共焦拉曼光谱进行表征；以及（3）通过其机械谐振子本征频率检测石墨烯片与 MEMS 器件的机械耦合的能力。
引用
@article{arxiv.2103.13652,
title = {Engineering tunable strain fields in suspended graphene by microelectromechanical systems},
author = {Jens Sonntag and Matthias Goldsche and Tymofiy Khodkov and Gerard Verbiest and Sven Reichardt and Nils von den Driesch and Dan Buca and Christoph Stampfer},
journal= {arXiv preprint arXiv:2103.13652},
year = {2021}
}
备注
5 pages, 6 figures, conference proceeding