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悬浮石墨烯膜中的机电压阻传感

介观与纳米尺度物理 2013-07-12 v1

摘要

单层石墨烯展现出卓越的电子和机械性能,使其成为纳米机电系统 (NEMS) 器件极具前景的材料。在此,我们确凿地证明了石墨烯在纳米机电膜构型中的压阻效应,该构型提供了从压力到应变转换的直接电学读出。这使得它与一类重要的纳米机电系统 (NEMS) 换能器高度相关。这一演示结果与我们的模拟以及先前报道的灵敏系数和模拟值一致。实验中的膜充当了独立于晶体取向的应变计,并允许激进的尺寸可扩展性。与传统压力传感器相比,这些传感器每单位面积的灵敏度高出数个数量级。

关键词

引用

@article{arxiv.1306.5876,
  title  = {Electromechanical Piezoresistive Sensing in Suspended Graphene Membranes},
  author = {A. D. Smith and F. Niklaus and A. Paussa and S. Vaziri and A. C. Fischer and M. Sterner and F. Forsberg and A. Delin and D. Esseni and P. Palestri and M. Östling and M. C. Lemme},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1306.5876},
  year   = {2013}
}

备注

20 pages, 3 figures