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用于 MEMS 结构材料热表征的微加热板

综合物理 2008-01-08 v1

作者: P. Furjes , P. Csikvari , I. Bársony , Cs. Ducso

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摘要

准确掌握 MEMS 所用结构材料的机械和热性能对于优化几何与功能设计至关重要。由于尺寸效应、结构复杂性以及形成工艺的变化，精确提取物理性质相当复杂。本文旨在通过分析多层微加热器结构的热响应，确定应用于热传感器结构中的氮化硅和金刚石层的热性能。

关键词

微加热板热表征 MEMS 结构材料氮化硅金刚石层热性能多层微加热器

引用

@article{arxiv.0801.0750,
  title  = {Micro-Hotplates for Thermal Characterisation of Structural Materials of Mems},
  author = {P. Furjes and P. Csikvari and I. Bársony and Cs. Ducso},
  journal= {arXiv preprint arXiv:0801.0750},
  year   = {2008}
}

备注

Submitted on behalf of TIMA Editions (http://irevues.inist.fr/tima-editions)