块体 4H-SiC 中光子谐振器的制备
光学
2021-01-26 v1 应用物理
摘要
为量子光子学和量子光力学中的应用，需要设计和构建适用于在芯片上增强、收集和导引光的光子架构。在这项工作中，我们应用基于法拉第笼的斜角刻蚀方法，由 4H 碳化硅制备各种功能性光子器件——该材料因在光力学、非线性光学和量子信息中的潜力近年来受到关注。我们详述了工艺条件并彻底探讨了所制备器件的几何与光学特性。利用光致发光测量，我们展示了在可见光范围内悬浮微环谐振器高达 3500 的品质因子。此类器件未来将适用于增强 SiC 在集成片上量子光子学中的特性。
引用
@article{arxiv.2101.09649,
title = {Fabrication of photonic resonators in bulk 4H-SiC},
author = {Otto Cranwell Schaeper and Johannes E. Fröch and Sejeong Kim and Zhao Mu and Milos Toth and Weibo Gao and Igor Aharonovich},
journal= {arXiv preprint arXiv:2101.09649},
year = {2021}
}