单晶石英中的力学与光学纳米器件
介观与纳米尺度物理
2018-01-17 v1 应用物理
光学
摘要
单晶α-石英是最广泛使用的压电材料之一，已催生了广泛的定时应用。由于缺乏基于集成薄膜的石英平台，这些应用大多依赖宏观的体晶器件。我们在此展示，法拉第笼斜角刻蚀技术可用于在石英中实现纳米尺度的机电和光子器件。利用该方法，我们演示了品质因数分别为4,900和8,900的石英纳米机械悬臂梁和环形谐振器。
引用
@article{arxiv.1710.03372,
title = {Mechanical and optical nanodevices in single-crystal quartz},
author = {Young-Ik Sohn and Rachel Miller and Vivek Venkataraman and Marko Lončar},
journal= {arXiv preprint arXiv:1710.03372},
year = {2018}
}
备注
10 pages, 4 figures