软化学辅助的纳米结构石英基压电微机电系统片上集成
应用物理
2020-07-16 v1 材料科学
摘要
用于传感与精密频率控制应用的先进压电石英 MEMS 的开发，需要对这种材料进行纳米结构化并将其在硅上实现片上集成。然而，当前的石英制造方法基于将体微加工晶体键合到硅上，这限制了石英微型器件的尺寸、性能、集成成本与可扩展性。在此，我们结合化学溶液沉积、软纳米压印光刻与自上而下微加工工艺，开发了首个纳米结构外延 100 石英 100 Si 压电悬臂梁。相干的 Si-石英界面与薄膜厚度，结合绝缘体上硅技术衬底上受控的纳米结构化，在保持微机电系统机械品质因数的同时提供了高力与质量灵敏度。本工作证明，通过结合软化学与自上而下光刻技术，可以以低成本设计基于硅的生物相容性纳米结构外延压电石英 MEMS。
引用
@article{arxiv.2007.07566,
title = {Soft chemistry assisted On-chip Integration of Nanostructured quartz-based Piezoelectric Microelectromechanical System},
author = {Claire Jolly and Andres Gomez and David Sanchez-Fuentes and Dilek Cakiroglu and Raissa Rathar and Nicolas Maurin and Ricardo Garcia-Bermejo and Benoit Charlot and Marti Gich and Michael Bahriz and Laura Picas and Adrian Carretero-Genevrier},
journal= {arXiv preprint arXiv:2007.07566},
year = {2020}
}